Комплекс предназначен для испарения поверхностного слоя резистивного материала типа РС 3710, напыленного на подложку (ситалл или поликор), без разрушения подложки.
* Примерная толщина напыленного слоя - 15...500 нм.
* Состав РС3710: Хром - 36...39 %,
Никель – 3...11 %,
Кремний – остальное.
Состав:
Ход координатного стола по осям Х и Y, мм: 80;
Перемещение координатного стола по оси Z, мм: 10;
Скорость перемещения координатного стола, не меньше:
в режиме подгонки, мм/с: 0,062 ... 2;
в режиме холостого хода, мм/с: 5;
Размер поля подложки, мм: 60 х 48;
Ширина реза, не более, мкм: 40;
Система оптического контроля;
Габариты манипулятора:
Длина манипулятора: 1500 мм;
Ширина манипулятора: 1200 мм;
Высота манипулятора: 1250 мм;
Производительность установки в ручном режиме: 300 резисторов в час.